メニュースキップ

3S株式会社

SURFIEW 4000

SURFIEW 4000
f77d7e_9b6a68c1c15f47b6b2296929279ea436_mv2.png

 

f77d7e_e73abbd05f604ce8b382814aed856d7d_mv2.png

 

Semiconductor

f77d7e_c88cf165ae7942cf98f605491cbe9e4c_mv2.png

 

Stud Bump
長さ、高さ、体積、粗さ、角度
CMP
Warpage 粗さ
CVD
粗さ
Wafer
Warpageスクラッチ、粗さ

PCB

f77d7e_45c996c2c5014f5c87703500e1ef6aac_mv2.png

 

 
Substrate 
(Pad, Trace, Space, Anchor, Land, Ball Pad, Via Hole, Dimple, SR)
 
높이,,깊이,지름,두께,부피
거칠기, Roundness
BGA
Ball높이지름, Coplanarity

Display

f77d7e_df798a326d6847819d71188422548f4e_mv2.png

 

Photo Space
長さ、高さ、幅、体積
RGB
厚み、粗さ、BM 厚み
TFT Pattern
高さ、幅、粗さ
BLU
角度、幅、高さ、粗さ
Metal Jet
幅、高さ、角度、粗さ
Glass
Defect形態、幅、高さ 
OLED
蒸着高さ、角度、体積

その他

f77d7e_9ae472d3787e47509c08e3e0f8f687d0_mv2.png

 

MEMS
高さ、幅
Precision machine part
粗さ、高さ、幅
Laser Marking
高さ、体積
Inkjet
体積、高さ、面積
Micro Lens
曲率、高さ
RFID
高さ、幅、粗さ

Specification

Vertical Resolution
VSI,VEI < 0.5nm, VPI < 0.1nm
Lateral Resolution
0.05~7.2um(Depends on magnification)
Height Repeatability
≤0.1% @ 1σ
Objective Lens
5 Selectable(Automatic)
Zoom Lens
3 Selectable(0.55x/0.75x/1.0x @ Automatic)
Camera Format
1/2"  Mono Camera
Scan Method
Piezo Actuator@Capacity Closed loop
PZT Scan Range
≤150um
Scan Speed
7.5um/sec(1x) / 22.5um/sec(3x)
Illumination
White LED
Filter
Visible/Bandpass/Green Filter(Auto)
Auto Focus
Yes
X/Y Axis Stroke
300mm(X) x 300mm(Y)
Z Aixs Stroke
100mm
Tilt Aixs Stroke
± 5°
Work Table Size
350mm X 350mm
Max Workpiece Load
≤ 10kg
Layout Size
1780mm(W) x 960mm(D) x 1500mm(H)
Software
Surface View/Surface MAP@ Window10 (64bit)
Stitching
Yes
Vibration Isolation Platform
Passive Type(Vertical Resonance: 1.5Hz)
Input Power
2∮,110V/220V(±10%), 50/60Hz

Option

Interference Lens
2.5x, 5.0x, 10x, 20x, 50x, 100x
Objective Lens
2.5x, 5.0x, 10x, 20x, 50x, 100x
Zoom Lens
0.55x, 0.75x, 1.0x, 1.5x, 2.0x
PZT Scan Range
≤300um
Motor Scan
≤10mm@Linear Scale
Laser Auto Focus
Option
Camera Format
2/3" or 1" Mono Camera
Work Table
Vacuum Table, Rotation Table
上へ